Etude des mécanismes de gravure sur les matériaux diélectriques : application aux gaz à faible potentiel de réchauffement global
Les niveaux d’interconnexions (Back-End Of Line ou BEOL) en micro-électronique permettent de connecter entre eux les transistors pour obtenir les fonctionnalités voulues du dispositif. Pour fabriquer ces niveaux, on utilise des procédés de lithographie et de gravure plasma. La gravure sèche par plasma est une technique clé dans la fabrication des dispositifs microélectroniques car elle permet la définition précise des structures à l’échelle nanométrique. Ce procédé présente plusieurs défis majeurs, notamment le contrôle rigoureux des profils de gravure, des dimensions critiques des motifs ou encore la garantie d’une sélectivité entre les différents matériaux. Au-delà de ces aspects techniques, la gravure plasma soulève des enjeux environnementaux importants. En effet, les gaz utilisés dans ces procédés, tels que les fluorocarbures sont souvent des gaz à effet de serre puissants, avec un potentiel de réchauffement global (PRG) très élevé.
L’objectif est donc double : diminuer l’empreinte carbone de ces procédés tout en maintenant, voire en améliorant, les performances critiques attendues post-gravure, telles que l’obtention des dimensions critiques, l’absence d’endommagement des matériaux gravés, l’absence de défauts et l’uniformité spatiale de ces performances.
Développement du module de grille pour transistors de puissance verticaux en GaN
Ce sujet de thèse offre une opportunité unique d'améliorer vos compétences en dispositifs de puissance GaN et de développer des architectures innovantes. Vous travaillerez aux côtés d'une équipe multidisciplinaire spécialisée dans l'ingénierie des matériaux, la caractérisation, la simulation de dispositifs et les mesures électriques.
Les composants de puissance GaN verticaux sont très prometteurs pour les applications de puissance au-delà de la plage du kV. Des transistors avec une architecture 'trench MOSFET' ont été démontrés dans l'état de l'art avec des résultats encourageants. L'empilement de grille de ces dispositifs est un élément clés car il impacte directement leur résistance à l'état passant, la tension de seuil et le signal de commande à appliquer dans un convertisseur de puissance. L'étude proposée se concentrera sur le développement d'empilements de grille innovants capables de supporter des tensions élevées tout en maintenant une tension de seuil et une mobilité de canal à l'état de l'art avec un minimum de piégeage diélectrique. Le travail impliquera l'étude de l'impact des paramètres de procédés de fabrication sur les caractéristiques électriques. Une attention particulière sera à accorder à l'optimisation de la géométrie de la grille par des simulations TCAD pour étudier l'impact sur l'état passant et le claquage. Les améliorations identifiées seront intégrées aux dispositifs fabriqués sur notre ligne de composants de puissance GaN 200mm. Le travail se déroulera au sein du laboratoire des composants de puissance et sera soutenu par plusieurs projets en cours.
Développement d’un nano-coating zwitterionique bifonctionnel pour les aptacapteurs – un nouveau linker pour sondes biologiques qui supprime les adsorptions non-spécifiques
Le domaine du développement des biocapteurs se heurte régulièrement à la problématique des signaux non-spécifiques. L’apparition de ces signaux limite bien souvent les performances des biocapteurs et complique in-fine les transferts industriels. Le synoptique de fonctionnalisation pour les biocapteurs se résume généralement en trois étapes, i) fonctionnalisation du transducteur avec une molécule linker, ii) immobilisation d’une sonde biologique (anticorps, aptamères, oligonucléotides…) grâce au linker, iii) traitement avec l’entité de blocage des interactions non-spécifiques. La littérature regorge de solutions qui font la part belle au blocage de ces interactions non-spécifiques avec différents types d’entités chimiques ou biologiques : protéines (BSA, caséine…), polymères (PEG, PVP) ou petites molécules (éthanolamine, hexylamine...).
Pour autant, une approche alternative de fonctionnalisation avec un linker offrant à la fois la capacité d’immobiliser des sondes biologiques, tout en assurant le blocage des interactions non-spécifiques représente une piste innovante pour le développement de biocapteurs.
Ce projet de thèse consiste à explorer le design et la fonctionnalisation de surface avec un nano-coating bifonctionnel répondant à cette approche. Concernant le blocage, les polymères zwitterioniques seront au coeur du développement. En effet, de nombreux travaux démontrent leur capacité à réduire drastiquement les interactions des milieux biologiques complexes avec les surfaces qui en sont pourvues. Par ailleurs, il est possible d’exploiter les fonctions chimiques de certains types de zwitterions pour immobiliser à la demande des sondes biologiques. Après avoir optimisé leur activité en phase homogène, des aptamères seront immobilisés sur des transducteurs silicium (QCM-d et puce photonique) par l’intermédiaire du nano-coating zwitterionique bifonctionnel. L’objectif de la thèse est d’obtenir une preuve de concept d’un biocapteur fonctionnalisé avec ce linker qui assure la réduction des signaux non-spécifiques tout en assurant la détection spécifique de la cible envisagée (modèle Tyrosinamide) dans des milieux modèles et complexes issus du biomédical, tels que le sérum ou le plasma.
Fiabilité et propriétés dynamiques des MOS-HEMT GaN : impact de la barrière enterrée et du type de substrat.
L'expansion rapide de l'IA et de l'informatique en nuage a placé des exigences sans précédent sur l'infrastructure des centres de données, où l'efficacité énergétique est désormais une contrainte définissante. Malgré leur potentiel, de nombreux systèmes de puissance reposent encore sur des dispositifs à base de silicium, qui souffrent de limitations intrinsèques d'efficacité entraînant des pertes d'énergie significatives. Les transistors à haute mobilité électronique GaN (GaN HEMTs), grâce à leur mobilité électronique supérieure et à leur tension de claquage élevée, représentent une alternative convaincante, capable d'atteindre des efficacités bien plus élevées dans la conversion de puissance. Cependant, leur adoption plus large est limitée par des défis de fiabilité, en particulier ceux liés aux mécanismes de piégeage de charge qui dégradent les performances du dispositif au fil du temps.
Dans ce projet de thèse, vous allez explorer les dynamiques fondamentales des porteurs de charge dans les GaN HEMTs, en vous concentrant sur les origines physiques des dérives de la résistance à l'état passant et de la tension de seuil - indicateurs clés de l'instabilité du dispositif. En analysant systématiquement le comportement électrique de ces transistors dans diverses conditions de fonctionnement, vous allez découvrir les mécanismes derrière leur dégradation et identifier des voies pour améliorer leur robustesse. Vos découvertes informeront directement l'optimisation des architectures de dispositifs, permettant le développement d'électroniques de puissance plus efficaces et fiables qui peuvent répondre aux exigences des centres de données modernes et au-delà.
Vous ferez partie d'une équipe de recherche multidisciplinaire au CEA-Leti, collaborant avec des experts en ingénierie des matériaux semiconducteurs, simulation de dispositifs et caractérisation électrique. Cet environnement vous fournira un ensemble de compétences complet, couvrant l'ingénierie de processus, les tests électriques avancés et les simulations TCAD. Cette position ne fera pas seulement évoluer votre expertise, mais vous placera également à l'avant-garde d'un domaine à impact mondial. En contribuant à l'avancement des GaN HEMTs, vous jouerez un rôle clé dans la définition de l'avenir de l'électronique de puissance - où l'innovation se traduit directement par des solutions technologiques durables.
Fonctions optiques intégrées sur plan focal micro-bolométrique pour l’imagerie infrarouge non refroidie
L’imagerie infrarouge en bande thermique (longueurs d’onde 8-14 µm) est un domaine en forte croissance, particulièrement dans les domaines de l’industrie, du transport, de l’environnement. Elle s’appuie sur une technologie de détection, les microbolomètres, pour laquelle le CEA-Léti est au meilleur niveau de l’état de l’art mondial. L’intégration de fonctions optiques avancées directement sur les détecteurs est une voie très prometteuse pour gagner en performance, en compacité et en coût dans les futures caméras infrarouges.
Les fonctions optiques envisagées comprennent le filtrage spectral, la polarimétrie, la correction de front d’onde, etc. Certaines visent à enrichir l’image par des informations indispensables aux applications telles que la thermographie absolue (mesure de température et d’émissivité), l’identification pour l’interprétation automatique de scène (machine vision), la détection de gaz, etc.
Les travaux proposés comprendront des activités de conception, réalisation et caractérisation électro-optique de matrices de microbolomètres fonctionnalisés. La conception de ces fonctions optiques utilisera des moyens de simulation 3D électromagnétique, elle prendra en compte leur compatibilité avec nos technologies de microbolomètres et les capacités de nos moyens de micro-fabrication. La réalisation se fera dans les salles blanches du CEA-Léti par des personnels dédiés mais le (la) candidat(e) prendra part à la définition et au suivi des travaux. Enfin, les caractérisations optiques et électro-optiques seront faites dans notre laboratoire, si besoin avec le développement de bancs de caractérisation dédiés.
Orchestration proactive pour la sécurité des systèmes distribués
Dans un contexte où les architectures distribuées deviennent de plus en plus hétérogènes et dynamiques, la surface d’attaque s’élargit et impose de repenser la sécurité au-delà des mécanismes défensifs traditionnels.
Les approches de sécurité proactive, et notamment le Moving Target Defense (MTD), visent à perturber l’adversaire en modifiant régulièrement la configuration du système (adresses réseau, réallocation de conteneurs, déploiement de leurres). Néanmoins, ces stratégies restent généralement statiques, limitées à un seul mécanisme et indépendantes de l’état matériel sous-jacent. Par ailleurs, les contre-mesures au niveau du cache (partitionnement, randomisation, ordonnancement) sont rarement intégrées à la logique décisionnelle des orchestrateurs.
L’objectif de la thèse est de concevoir un cadre d’orchestration MTD adaptatif et conscient de l’état matériel, capable d’ajuster dynamiquement les stratégies de défense en fonction de la charge, des performances et de la vulnérabilité observée. L’idée centrale est d’alimenter un agent d’apprentissage par renforcement avec des informations issues des compteurs matériels et des métriques locales de sécurité liées au cache partagé, afin qu’il sélectionne la meilleure combinaison de stratégies MTD selon le contexte observé.
Les contributions attendues concernent la définition d’une métrique locale de sécurité intégrant l’état du cache, la modélisation du système sous forme de graphe reliant services, ressources et surfaces d’attaque, la conception d’un agent RL décisionnel unifié pour la sélection automatique des stratégies, et enfin une évaluation multicritère (sécurité, performance, énergie) sur un cas d’usage automobile réaliste.
Cette thèse vise à rapprocher la vision système et la vision matérielle pour construire des orchestrateurs de confiance capables d’anticiper et d’adapter les défenses face à des attaques évolutives, ouvrant la voie à une sécurité proactive intelligente et matériellement informée dans les systèmes distribués.
Introduction de matériaux innovants pour la réalisation de contacts pour les nœuds avancés
Les développements du module contact dans le cadre de FAMES mettent en évidences les limites atteintes par les dimensionnels adressés. Pour les nœuds sub 10nm, une approche en rupture est nécessaire pour pallier aux problèmes de sélectivité, auto alignement, capa parasite… Cette thèse se positionne sur le développement de nouveaux matériaux à gradient résolvant ces problèmes.
Caractérisation avancée des défauts générés par les procédés technologiques pour l’imagerie infrarouge haute-performance
Cette thèse s’inscrit dans le domaine des détecteurs infrarouges refroidis. Le Laboratoire Infrarouge du CEA-LETI-MINATEC est spécialisé dans la conception et la fabrication de prototypes de caméras infrarouges, utilisées en défense, astronomie, surveillance environnementale et météorologie satellitaire.
Dans ce contexte d’imagerie haute-performance, il est crucial d’assurer une qualité optimale des détecteurs. Or, les procédés technologiques de fabrication peuvent introduire des défauts susceptibles de dégrader les performances des capteurs. La compréhension et la maîtrise de ces défauts sont essentielles pour accroître la fiabilité et optimiser les procédés.
L’objectif de la thèse est d’identifier et de caractériser précisément ces défauts à l’aide de techniques de pointe, rarement combinées, telles que la micro-diffraction de Laue et la nano-tomographie FIB-SEM, permettant une analyse structurelle à différentes échelles. En mettant en relation la nature et l’origine des défauts avec les procédés de fabrication et en quantifiant leur impact sur les performances, le ou la doctorant(e) contribuera directement à l’amélioration de la fiabilité et de l’efficacité des capteurs infrarouges de nouvelle génération.
Le/la doctorant(e) intègrera une équipe couvrant l’ensemble de la chaîne de fabrication des détecteurs et participera activement à l’élaboration (salle blanche LETI) et la caractérisation structurale (plateforme CEA-Grenoble, techniques avancées) des échantillons. Il/elle interviendra également dans la caractérisation électro-optique en partenariat avec le Laboratoire Imagerie infrarouge Refroidie (LIR), spécialisé dans l’analyse fine du matériau actif à des températures cryogéniques.
Exploitation avancée des données de santé par de l'apprentissage collaboratif sécurisé
Depuis quelques années, l’apprentissage profond est utilisé avec succès dans de nombreux domaines et est de plus en plus intégré dans la recherche clinique et le domaine de la santé. La capacité à combiner des sources de données diverses, telles que la génomique et l’imagerie, améliore la prise de décision médicale. L’accès à de grands jeux de données hétérogènes est essentiel pour améliorer la qualité et la précision des modèles. L’apprentissage fédéré est actuellement développé pour répondre à cette exigence, en offrant la possibilité d’entraîner des modèles de manière décentralisée garantissant que les données brutes restent stockées localement du côté client (entité qui génère les données sensibles). Plusieurs frameworks open-source intègrent des protocoles de calcul sécurisé pour l’apprentissage fédéré, mais leur applicabilité au domaine de la santé demeure limitée et soulève des enjeux liés à la souveraineté des données.
Dans ce contexte, un framework français, actuellement développé par le CEA-LIST, introduit une architecture d’apprentissage fédéré edge-to-cloud intégrant un chiffrement de bout en bout, avec notamment le chiffrement homomorphe (Fully Homomorphic Encryption), et une résilience face aux attaques malveillantes. Grâce à ce framework, ce projet vise à fournir des composants modulaires et sécurisés pour l’apprentissage fédéré afin de favoriser l’innovation en IA appliquée au domaine de la santé et notamment à la génomique.
Ce projet se focalisera sur trois axes principaux :
1) Déploiement, surveillance et optimisation de modèles d’apprentissage profond au sein de solutions d’apprentissage fédéré et décentralisé.
2) Intégration de grands modèles dans l’apprentissage collaboratif.
3) Développement de méthodes d’agrégation pour des situations non IID (Independant and Identically Distributed).
Développement d'une méthode de dosimétrie 3D par gel destinée au contrôle qualité des plans de traitement de radiothérapie utilisant des faisceaux de particules chargées à ultra haut débit de dose (FLASH)
La radiothérapie FLASH à ultra haut débit de dose est l'une des innovations les plus prometteuses de la dernière décennie en radio-oncologie. Elle a non seulement le potentiel d'éradiquer les tumeurs radio-résistantes, mais en plus de réduire les effets secondaires indésirables, contribuant ainsi à la capacité d'augmenter le taux de guérison et une amélioration de la qualité de vie des patients. Toutefois, l'infrastructure dosimétrique est en retard avec cette avancée clinique et technologique, avec les dosimètres actuels qui ne sont plus adaptés et aucun de ceux en cours de développement ne faisant consensus.
Le gel dosimétrique à lecture optique développé au LNHB-MD (CEA Paris-Saclay) pourrait s’avérer un candidat prometteur car les mesures en faisceau de photons ont montré une réponse linéaire sur une large gamme de dose (0,25 - 10 Gy) ainsi qu’une indépendance en énergie (6 - 20 MV) et en débit de dose (1 - 6 Gy/min). De plus, ce dosimètre équivalent-eau à une capacité unique à fournir des mesures en trois dimensions à haute résolution spatiale (< 1 mm) avec une incertitude combinée associée d’environ 2% (k = 1). Cette méthode dosimétrique a été validée pour le contrôle qualité de plans de traitement de radiothérapie conventionnelle mais n’a jamais été testée en faisceaux FLASH.
Ce projet doctoral vise à mettre au point une méthode de dosimétrie 3D par gel adaptée pour la radiothérapie FLASH délivrée par faisceaux de particules chargées : (1) électrons à énergie conventionnelle (= 10 MeV), (2) électrons à très haute énergie (VHEE = 50 MeV), et (3) protons (= 100 MeV). Pour chacun de ces types de faisceaux, disponibles à l’Institut Curie à Orsay mais également à Gustave Roussy à Villejuif, la validation de la distribution de dose mesurée par gel sera réalisée par comparaison à des mesures avec d’autres dosimètres (e.g. diamant, alanine) et des simulations Monte Carlo.
Cette étude apportera une contribution significative à l’amélioration de la sécurité des patients, à l’optimisation de l’efficacité des traitements et à la future intégration de la radiothérapie FLASH en pratique clinique.