Emerging materials and processes for nanotechnologies and microelectronicsEngineering sciencesMaterials and applicationsTechnological challenges
Abstract
As part of the TILPAC project (ANR grant), you will work on the development of lead-free piezoelectric materials for MEMS actuator applications. The materials deposited in thin layers will be integrated into test vehicles in order to evaluate their properties (electrical, ferroelectric, piezoelectric) and compare them to those of the reference material, PZT, with a view to integration into devices at industrial scale. Particular attention will also be paid to environmental impact aspects.
Laboratory
Département Composants Silicium (LETI)
Service Intégrations et Technologies pour les conversions d'énergies
Laboratoire des technologies d'Intégration des Capteurs et Actionneurs
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