Qui sommes-nous ?
Espace utilisateur
Formation continue
Credit : L. Godart/CEA
D’un jour à plusieurs semaines, nos formations permettent une montée en compétence dans votre emploi ou accompagnent vers le retour à l’emploi. 
Conseil et accompagnement
Crédit : vgajic
Fort de plus de 60 ans d’expériences, l’INSTN accompagne les entreprises et organismes à différents stades de leurs projets de développement du capital humain.
Thèses
Accueil   /   Thèses   /   Mesures du désalignement Multi-échelles

Mesures du désalignement Multi-échelles

Défis technologiques Métrologie Nano-caractérisation avancée Sciences pour l’ingénieur

Résumé du sujet

Dans l’industrie de la microélectronique, le contrôle de l’étape de lithographie est assuré par les techniques de mesure par imagerie (IBO, Image Based Overlay) ou par diffraction (DBO, Diffraction Based Overlay). Ces techniques sont relativement simples à mettre en œuvre, rapide et leurs spécifications répondent bien au besoin des technologies matures (CMOS20nm et précédents). Pour exploiter ces techniques, des structures de métrologie dédiées doivent être intégrées dans des zones spécifiques. Ces structures ont un design particulier et différent du produit fabriqué. Se pose alors la question de représentativité de la mesure overlay issue de ces techniques de métrologie par rapport à l’overlay dans le produit. De nouvelles méthodes comme les techniques électroniques à balayage (SEM) sont en cours de développement, l’intérêt majeur est leur capabilité à mesurer à n’importe quel endroit dans le produit et de manière répétable. Cependant cette technique détériore certains matériaux. Des études complémentaires doivent donc être menée pour trouver les meilleurs conditions d’utilisations de cette technique afin de faire le lien entre un désalignement dans le produit et comparer aux mesure via les techniques classiques (IBO et DBO). D’autres techniques, comme les techniques par Rayons X ou d’autres méthodologies seront investiguées (méthode par analyse de défaut, apprentissage machine, …). Ces travaux permettront d’adresser plus efficacement les nouveaux nœuds technologiques actuellement en cours de développement au LETI.

Laboratoire

Département des Plateformes Technologiques (LETI)
Service de Métrologie et de Caractérisation Physique
Laboratoire Microscopie Mesures et Défectivité
Top envelopegraduation-hatlicensebookuserusersmap-markercalendar-fullbubblecrossmenuarrow-down