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Stripping process training: Plasma ashing, wet cleaning and wet stripping

Intégration : du matériau à l'objet

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Nouvelle formation !
© L. Godart / CEA

En bref

Cette formation permet d’acquérir une meilleure connaissance des notions de base associées aux procédés de stripping, aux résultats attendus, et de mesurer l'influence des différents paramètres de fonctionnement des procédés sur le produit.

A qui s’adresse cette formation ?

Techniciens, ingénieurs et chercheurs impliqués dans des problématiques de gravure et/ou de stripping.


Compétences visées

Il s’agit pour les futurs stagiaires :
- d’acquérir une meilleure connaissance des notions de base associées aux procédés de stripping et aux résultats attendus,
- d’identifier les différents paramètres de fonctionnement des procédés et leur influence sur le produit, sur les traitements ultérieurs.

1) Introduction
a. Définitions and applications
b. Compatibility and efficiency
c. Lithography aspects and impact for stripping
d. Contamination aspects in stripping
2) Photoresist plasma ashing
a. Generalities on plasma
b. Efficiency in plasma ashing: striprate and overstrip
c. Process parameter influence on striprate
d. Compatibility in plasma ashing
3) FEOL wet cleaning/BEOL wet cleaning/Photoresist wet stripping :
a. Wet processes: general considerations
b. Kinetically vs mass transfer limited reactions
4) FEOL wet cleaning
a. General considerations
b. Caro’s acid
c. RCA clean: SC1/SC2
d. Hydrofluoric acid
e. Ozone-based cleaning
f. Compatibility in FEOL wet cleaning
5) BEOL wet Cleaning
a. General considerations
b. Aluminum BEOL cleaning
c. Copper Damascene BEOL cleaning
d. Compatibility in BEOL wet cleaning
6) Photoresist wet stripping
a. General considerations
b. Wet stripping with inorganic chemicals
c. Wet stripping with organic solvents

Pas de pré requis spécifique.

En cas de format distanciel, les pré-requis techniques sont :

  • Un ordinateur, une tablette tactile ou dispositif équivalent
  • Un micro, web-cam
  • Un accès au réseau internet

 

Auto-évaluation

Méthodes et outils pédagogiques

Contact(s)

Responsable pédagogique :

Pascal REVIRAND
pascal.revirand@cea.fr
04 38 78 41 38

Sessions de formation

Aucune session inter-entreprise n'est programmée pour le moment, si cette formation vous intéresse, merci de nous contacter.

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