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Réalisation de metasurface par auto-assemblage de copolymères à blocs

Défis technologiques Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique

Résumé du sujet

Les copolymères à blocs (BCP) sont une technologie en pleine expansion industrielle, offrant des perspectives prometteuses pour la nanostructuration de matériaux. Ces polymères, constitués de chaînes de blocs chimiquement distincts, s'auto-assemblent pour former des structures ordonnées à l'échelle nanométrique. Cependant, leur utilisation actuelle est limitée à une nanostructuration spécifique par produit (1 produit = 1 nanostructuration), restreignant ainsi leur potentiel d'application.
Cette thèse propose de développer une méthode innovante pour créer plusieurs motifs en une seule étape d'auto-assemblage des BCP grâce à un mélange de deux produits. L'étudiant(e) s'intéressera également au contrôle de la localisation des motifs en utilisant la chemoepitaxie, une technique combinant le guidage chimique et morphologique pour contrôler précisément la position des motifs à l’échelle micrométrique et nanométrique. Le travail se déroulera en plusieurs étapes : compréhension des mécanismes des copolymères à blocs mélangés, développement de substrats fonctionnalisés pour la chemoepitaxie en utilisant des techniques de lithographie avancées, et réalisation d'expériences d'auto-assemblage des BCP sur ces substrats. Les structures obtenues seront analysées grâce aux équipements de métrologie disponibles au CEA-Leti.
Les applications visées incluent la création de nanostructures capables d'interagir avec la lumière, réduisant la diffraction et contrôlant la polarisation. Les résultats attendus incluent la démonstration de la capacité à générer plusieurs types de motifs en une seule étape d'auto-assemblage, avec un contrôle précis de leur position et de leurs dimensions.

Laboratoire

Département des Plateformes Technologiques (LETI)
Service des procédés de Patterning
Laboratoire
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