Découvrir les principes théoriques de la réflectivité des rayons X
Apprendre à mesurer une courbe de réflectivité des rayons X sur film(s) mince(s)
Apprendre à traiter et interpréter les données expérimentales
Mettre en œuvre cette technique sur plusieurs cas d’études spécifiques à la microélectronique
Appréhender les opportunités et limitations offertes par cette technique d’analyse de surface
Présentation d’un équipement de Réflectivité des Rayons X (XRR) sur la Plateforme de Nano-Caractérisation du CEA-Leti.
Mise en pratique sur des cas d’études.
Rappels généraux sur l’interaction rayons X – matière
Présentation des différents types d'appareillage pour de la XRR
Fondamentaux de la XRR
Présentation de cas d'études
Niveau de formation minimum, technicien supérieur en physique, chimie, sciences de l’ingénieur ou sciences des matériaux
Contact administratif :
Anne-Sophie BERTINanne-sophie.bertin@cea.fr04 38 78 48 65
Contact pédagogique :
Jean-Charles SOURIAUjean-charles.souriau@cea.fr04 38 78 98 13
Si vous êtes en situation de handicap, veuillez contacter le référent handicap, afin de vérifier les possibilités de mise en oeuvre de l'action de formation, à l'adresse suivante : instn-handicap@cea.fr